ფოკუსირება სპეციალურ გაზის ინდუსტრიაზე

ელექტრონულ გაზებს მიეკუთვნება ელექტრონული სპეციალიზებული აირები და ელექტრონული ნაყარი აირები.ისინი შეუცვლელი და ძირითადი მასალებია ინტეგრირებული სქემების, დისპლეის პანელების, ნახევარგამტარული განათების, ფოტოელექტროსადგურების და სხვა ინდუსტრიების წარმოების პროცესში.ელექტრონული სპეციალიზებული აირები აუცილებელი დამხმარე მასალაა ინტეგრირებული მიკროსქემის წარმოებისთვის.ისინი ფართოდ გამოიყენება ფოტოლითოგრაფიაში, გრავირებაში, ფირის ფორმირებაში, გაწმენდაში, დოპინგში, დეპონირებაში და სხვა პროცესების ბმულებში.მათ აქვთ მაღალი მოთხოვნები სისუფთავეზე, სტაბილურობაზე, შესაფუთ კონტეინერებზე და ა.შ., რომლებიც ცნობილია როგორც ნახევარგამტარული ინდუსტრიის "საკვები" და "სისხლი".ინტეგრირებული მიკროსქემის წარმოება მოიცავს ათასობით პროცესს, რომლებიც უკიდურესად რთულია და მოითხოვს ასობით ელექტრონული სპეციალიზებული გაზების გამოყენებას.ინტეგრირებული მიკროსქემის წარმოებაში ელექტრონული აირები შეიძლება დაიყოს დოპინგ აირებად, იონური იმპლანტაციის აირებად, გამწმენდ აირებად, ოქროპირულ გაზებად და ფოტოლითოგრაფიულ აირებად სხვადასხვა პროცესის მიხედვით;ელექტრონული გაზები ფართოდ გამოიყენება და აქვთ მაღალი ტექნიკური მოთხოვნები.წყაროებს და მათ მიწოდების სისტემებს აქვთ მომთხოვნი მოთხოვნები.გაზის სისუფთავე არის სპეციალური გაზის პროდუქტების ძირითადი პარამეტრი, რომელიც მოითხოვს ულტრასუფთა და ულტრასუფთა.Ultrapure მოითხოვს გაზის სისუფთავეს, რომ მიაღწიოს 4.5N, 5N ან თუნდაც 6N ან 7N.ყოველ ჯერზე, როდესაც სიწმინდე იზრდება ერთი N-ით და ყოველ ჯერზე, როდესაც ნაწილაკების და ლითონის მინარევების კონცენტრაცია მცირდება ერთი რიგით სიდიდით, გაზის სისუფთავე გაიზრდება სიდიდის ერთი რიგით.მოაქვს მნიშვნელოვანი გაუმჯობესება პროცესის სირთულესა და სირთულეში.შერეული გაზისთვის, პროპორციის სიზუსტე არის ძირითადი პარამეტრი.როგორც პროდუქტის კომპონენტები იზრდება და იზრდება მომზადების სიზუსტე, გაზის მომწოდებლებს ხშირად მოეთხოვებათ ზუსტი ოპერაციების შესრულება გაზის კომპონენტებზე სხვადასხვა ppm ან თუნდაც ppb დონის კონცენტრაციით.